
| Pas de grille | 20 µm |
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| Dilatation thermique | 10,6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Résolution | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Répétabilité | ±1 incrément | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Vitesse maximale m/min | 60 (5 μm) ; 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Type de sortie | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Accélération maximale | 20 m/S² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Protection | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Alimentation électrique | 60 mA maximum | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Déphasage | 90°±5°électrique | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Température de fonctionnement | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Température de stockage | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Humidité | 100% non condensé |